核心问题就出在纯度上——半导体级别的石墨靶材，纯度得做到99.999%甚至99.9999%，也就是业内说的5N到6N水平。石墨靶材的质量控制不是靠感觉，是靠数据说话。与其追风口，不如把纯度、密度、均匀性这几个核心参数吃透···
